3M und Applied Materials arbeiten bei fortschrittlichem schlammfreien CMP Verfahren für die Herstellung von Kupfer-Zwischenschaltungen zusammen

St. Paul, Minnesota (ots-PRNewswire) - Erste Ergebnisse zeigen aussergewöhnlichen Kupfer und dielektrische Schleifsteuerung mit niedrigem k.

3M (NYSE:MMM) und Applied Materials, Inc. (Nasdaq: AMAT) kündigten eine strategische Vereinbarung für die gemeinsame Entwicklung eines schlammfreien, festen, chemisch- mechanischen Planarisation (CMP)-Schleifverfahrens für die Herstellung von Kupfer und Zwischenschaltungs-Strukturen mit niedrigem k in Hochleistungs-Halbleitern der nächsten Generation an.

Die gemeinsamen Anstrengungen kombinieren 3M(TM) Slurry-Free (schlammfreie) CMP Verbrauchsmaterialien mit den CMP-Systemen von Applied Material. Vorläufige Arbeitsprozesse haben außergewöhnliche Schleifergebnisse, einschließlich eines minimalen Materialverlustes der kritischen Metall- und Oxidstrukturen, ergeben.

"Unser Ziel ist es, die 3M Qualiltät und die Herstellungsfestigkeit noch zu erhöhen, um ein stabiles, reproduzierbares Set von Verbrauchsmaterial zu liefern, auf das sich die Kunden verlassen können," sagte Chuck Kummeth, Program Manager, 3M Superabrasives und Microfinishing Division. "Wir glauben, dass unsere gemeinsamen Anstrengungen mit Applied Materials die schnelle Vermarktung einer Lösung, die unsere Kunden bei der Erfüllung ihrer dynamischen Technologiepläne unterstützt, beschleunigen können".

Chris Smith, Vice President und General Manager von Applied Materials CMP Product Group, fügte hinzu: "Diese wichtige Zusammenarbeit ist Teil unserer Total Solutions(TM)-Annäherung, um die Kunden mit den besten und kosteneffektivsten Optionen zu versorgen, um ihre fortschrittlichen Erfordernisse der Kupfer-dielektrischen Herstellung mit niedrigem k zu erfüllen. Mit der Anhebung der hohen Produktivität der Mirra(R) System's Three-Platen-Architecture und dem einzigartigen Obsidian Web Konzept mit den Vorteilen einer festen Schleif-Technologie von 3M, erwarten wir eine schlammfreie Lösung mit einer verbesserten Run-to-Run-Konsistenz, niedrigeren Kosten der Eigentumsrechte und einer verbesserten Umweltleistung".

3M ist ein breitgefächertes Herstellungs-Unternehmen mit einem Umsatz von $15 Milliarden im Jahr 1998. Es betreibt Geschäfte in über 60 Ländern und beschäftigt mehr als 70.000 Mitarbeiter weltweit. Mit dem Hauptsitz in St. Paul, Minnesota, stellt 3M eine große Reihe von Produkten her und beliefert Kunden auf Dutzenden von Märkten angefangen in der Industrie und Elektronikbranche bis zum Automobil-, Telekommunikations-, Konstruktions- und Wartungsbereich, Gesundheitsvorsorge, Transportsicherheit, Büro und Verbraucher.

3Ms Website ist unter: http://www.3M.com. Für nähere Informationen innerhalb der Vereinigten Staaten und Kanada, rufen Sie bitte 1-800-3M HELPS (1-800-364-3577) an. Außerhalb der Vereinigten Staaten und Kanada, wählen Sie bitte 001-651-737-6501.

Applied Materials, Inc. ist ein globales
Wachstums-Unternehmen, das aufgeführt ist als ein Fortune 500-Unternehmen, und der weltweit größte Provider von Wafer Fabrikationssystemen und Services für die globale Halbleiter-Industrie. Applied Materials wird bei Nasdaq National Market System unter dem Symbol "AMAT" gehandelt. Applied Materials Web Site ist: http://www.appliedmaterials.com.

ots Originaltext: 3M Superabrasives und Microfinishing
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Ron Marquis von 3M Superabrasives and Microfinishing
(USA) 651-737-1785, oder Fax (USA) 651-737-2183, oder rfmarquis@mmm.com; oder
Connie Duncan von Applied Materials, Inc.
(USA) 408-563-6209, oder Fax, (USA) 408-986-2855, oder connie_duncan@amat.com
Web site: http://www.3M.com

http://www.appliedmaterials.com

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