Avant! stellt computer-automatisiertes Tooling für Halbleiter vor / TCAD-ECAD Integration bringt Qualitätskontrolle in die Wafer-Herstellung

Fremont, Kalifornien (ots-PRNewswire) - Die Avant! Corporation (Nasdaq: AVNT) stellte heute die erste integrierte Lösung in der EDA-Industrie vor für die "optical proximity correction" (OPC). Dieses Computer Automated Semiconductor Tooling (CAST) Framework kombiniert die Simulatoren des Taurus Technology Computer Aided Design (TCAD), das OPC System von Taurus und das "design rule checking" (DRC) im Hercules System. Diese einzigartige Lösung überbrückt die Kluft zwischen Design- und Herstellungsprozessen, verbessert die Produktivität des Design, die Qualität und Genauigkeit, die für den Erfolg von VDSM-Design notwendig ist.

"Eine umfassende OPC-Lösung war nicht möglich bis zur neusten Integration von TCAD-Tools und Nachweis-Tools, die durch Avant! angeboten werden," sagte Dr. Chi-Ping Hsu, CEO für Produkte bei Avant!. "Die Forschung und Entwicklung von Avant! kreierte CAST durch die Benutzung einer innovativen Methode, die sich von der konventionellen Theorie entfernt hat, daß "optical proximity corrections" nur durch ad hoc Point Tools erreicht werden können. CAST wird die Qualität und Produktivität von IC-Designs deutlich verbessern," fuhr Chi-Ping Hsu fort.

Die Lösung CAST ist ein integrierter Zugang zur Synthetisierung von Mask Pattern Layouts aus elektronischen Designlayouts, zu der Chip Shrink-Unterstützung, OPC-Synthese, OPC-Nachweis und Mask-Tooling-Verifizierung gehören.

Verzerrungen korrigieren

Eine der vielen Herausforderungen bei der Herstellung von "Very Deep Submicron" (VDSM)-Chips ist die Kontrolle der Genauigkeit und Präzision der Wafer-Lithographie. Die Schaltungsmuster werden auf den Wafer transferiert durch die Projektion eines illuminierten Bildes einer "Maske" auf die Oberfläche eines Wafers. Im Submikro-Bereich, wo die Dimensionen der Schaltstruktur kleiner sind als die Wellenlänge des Lichtes, kommen viele quantenphysikalische Auswirkungen ins Spiel. Die transferierte Struktur kann sich im Vergleich zum Muster der Maske deutlich verzerren. Die Anwendung einer "inverse distortion" auf das Maskenmuster kann diese Verzerrungen deutlich kompensieren. Dieses Verfahren für Muster-Layouts nennt sich "optical proximity correction." Mithilfe einer OPC-Lösung können Chiphersteller kleinere Schaltungen verläßlich herstellen, die bessere Ergebnisse und höhere Leistung bieten.

Die Optimierung der Regeln und Modelle, die für OPC benutzt werden, erfordert gründliche Analysen der physischen Phänomene, die den Prozeß der Waferfabrikation bestimmen. Die Herstellungssimulation von Taurus-Process - inklusive Implantation, Oxidation, Diffusion, Silicidation, Deposition (Auflage von Schichten), Ätzung und Lithographie - bietet das komplette Bild der Abweichungen, die jeder Wafer-Herstellung eigen ist. Ingenieure können mit Taurus-Process, das jetzt mit Taurus-OPC und Hercules verbunden ist, die OPC Kontrollparameter abstimmen, um optimale Ergebnisse innerhalb spezifischer Herstellungszwänge und Designziele zu erreichen.

Zu den Erweiterungen des CAST Framework gehören links zur EDA Layout-Synthese, wo fehlerhafte Konfigurationen bereits in der frühen Phase des elektronischen Designs identifiziert werden können. Die Vorbeugung solcher Konfigurationen in Designlayouts und das verbesserte OPC sichern die höchstmögliche Qualität in der Waferherstellung.

Eine Vorstellung von CAST wird auf der Design Automation Conference (DAC), die in San Francisco vom 15.-18. Juni stattfinden wird, zu sehen sein.

Über Avant!

Die Avant! (gesprochen "Avanti") Corporation entwickelt, vermarktet und unterstützt die Integrated Circuit Design Automation (ICDA) Software für die Simulation, das Layout, den Nachweis und die Analyse von Deep Submicron ICs - einschließlich Mikroprozessoren, Mikrosteuerung, den Application-Specific Standard Products (ASSPs), und komplexe Application-Specific Integrated Circuits (ASICs). Der Hauptsitz des Unternehmens liegt in Fremont im US-Bundesstaat Kalifornien, mit Vertretungen in der ganzen Welt.

Hinweis: Avant!, Hercules, Taurus-OPC, Taurus Process und CAST sind Warenzeichen der Avant! Corporation. Alle weiteren hier erwähnten Firmen- und Produktnamen sind Warenzeichen oder eingetragene Warenzeichen ihrer jeweiligen Eigentümer und sollten als solche behandelt werden.

ots Originaltext: Avant! Corporation
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Tel: 001-510-413-8022 oder
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